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YAMATADENSO山下電裝表面缺陷檢測設備應用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用
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YAMATADENSO山下電裝表面缺陷檢測設備
YAMATADENSO山下電裝表面缺陷檢測設備
應用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護的光學系統(tǒng)根據選配，可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。
即時顯示所有表面狀態(tài)。
光學系統(tǒng)對應等級１光學系統(tǒng)無須維護。
根據檢測內容，可修正檢測靈敏度
用途
鏡面晶圓的表面檢測
滑線檢測
玻璃基板檢測
其他鏡面基板檢測
選配
電動馬達檢測平移臺
自動判定缺陷影像處理裝置
影像列印機
搬運裝置
檢測尺寸：從φ100mm至φ300mm
檢測內容：平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測倍率：1x / 3x 模式可切換（標準設備）
檢測靈敏度：檢測靈敏度可連續(xù)調整
使用光源：550nm （固定照度之穩(wěn)定光源）
鏡頭：高解析度CCD鏡頭
平臺：手動平臺（標準設備）
產品外觀缺陷檢測：用于檢測產品的外觀缺陷，如長度、高度、直徑、混料、變形、缺料、毛刺、黑點、劃傷等1。
表面缺陷檢測：在電子、汽車、食品、醫(yī)藥等行業(yè)中，用于檢測產品表面的缺陷，如劃痕、污漬、裂紋、漆面不均、氣泡、凹陷、破損、變形等2。
顏色識別：通過顏色傳感器進行顏色識別，確保產品顏色符合標準3。
定位功能：通過工業(yè)攝像頭獲取圖像坐標信息，自動判斷物體位置3。
微小規(guī)格精密檢測：利用高倍工業(yè)鏡頭或顯微鏡頭進行微小物體的檢測，如生物細胞、細小裝配縫隙、小零部件等3。
非接觸式檢測：適用于高溫、高壓、流體、環(huán)境危險等場合，避免對被測對象的損壞3。
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