MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
壓力控制器AP-420
AP系列是電容計量器（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應(yīng)/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，確保半導(dǎo)體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應(yīng)答、高再現(xiàn)性的真空壓力控制。也可以通過前面板進(jìn)行設(shè)定，操作性非常容易。另外，由于CE標(biāo)志、RoHS對應(yīng)產(chǎn)品，被世界上所有產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)設(shè)備所使用
壓力控制器AP-100R
Model AP-100R將制造裝置中的真空室進(jìn)行真空排氣時，通過改變閥門電導(dǎo)，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。
GOOT太洋電機(jī)產(chǎn)業(yè)，HACHIKO八光電機(jī)制作所，YOKOGAWA橫河電機(jī)，WATANABE渡邊電機(jī)工業(yè)，TOGAMI戶上電機(jī)制作所，KASUGA春日電機(jī)株式會社，OTOWADENKI音羽電機(jī)工業(yè)株式會社，AICHIDNK新愛知電機(jī)制作所，OKAYAELEC岡谷電機(jī)產(chǎn)業(yè)株式會社，TOSHIBA東芝產(chǎn)業(yè)機(jī)器システム株式會社，
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